Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>

Заглавие:Исследование влияния параметров и условий поддержания плазмы СВЧ разряда на характеристики монокристаллических алмазных пленок, осаждаемых из газовой фазы : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>

Физическое описание:24 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа