Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Заглавие:Неразрушающие высоколокальные методы электронно-зондовой диагностики приборных структур микро- и наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Физическое описание:25 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа