Каталитические и газораспределительные слои для создания источников тока : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
Каталитические и газораспределительные слои для создания источников тока : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>