Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Заглавие:Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>

Физическое описание:25 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа