Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Разработка и исследование технологии формирования наноструктур на основе нитридов элементов III группы : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.01 <Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>