Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Заглавие:Разработка измерительного комплекса для контроля и использования субмикронной КМОП технологии электрофизическими методами : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. т. н. : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа