Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>

Заглавие:Низкоэнергетическое травление в пучково-плазменном разряде как метод создания материалов и структур наноэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к. ф.-м. н. : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>

Физическое описание:25 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа