Разработка физических основ исследования моноатомного слоя поверхности полупроводников ионами низких и гипертермальных энергий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Разработка физических основ исследования моноатомного слоя поверхности полупроводников ионами низких и гипертермальных энергий : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>