Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>

Заглавие:Взаимодействие плазмы с поверхностью оптических элементов, используемых в литографии экстремального УФ (13.5 нм) : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.08 <Физика плазмы>

Физическое описание:24 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
• 100% от первой страницы документа

Копирование:

• Произвольный отрывок, составляющий 50% документа

Загрузка всего документа