Разработка нанокомпонентных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.05 <Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления> ; специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Заглавие:Разработка нанокомпонентных структур в системе Si/SiO2 для формирования элементов устройств вычислительной техники и систем управления : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.05 <Элементы и устройства вычислительной техники и систем управления> ; специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Физическое описание:16 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа