Синтез композиционных оксидных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>
Синтез композиционных оксидных покрытий на основе разрядной системы с инжекцией электронов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.04 <Физическая электроника>