Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами по отраслям>

Заглавие:Повышение точности управления температурным режимом в установках выращивания монокристаллов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.13.06 <Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами по отраслям>

Физическое описание:16 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа