Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.08 <Xимия элементоорганических соединений>

Заглавие:Синтез и очистка GaEt3 и [SiH2]5-прекурсоров для создания полупроводниковых структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук : специальность 02.00.08 <Xимия элементоорганических соединений>

Физическое описание:22 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа