Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
Метод химического осаждения из растворов для создания активных и изолирующих диэлектрических слоев интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>