Повышение качества бипланарных электронно-оптических преобразователей по параметру "отношение сигнал-шум" за счет разработки новых технологических режимов операции финишной обработки : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>
Повышение качества бипланарных электронно-оптических преобразователей по параметру "отношение сигнал-шум" за счет разработки новых технологических режимов операции финишной обработки : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.27.06 <Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники>