Электрофизические свойства структур "кремний-на-изоляторе", изготовленных методом сращивания и водородного расслоения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Электрофизические свойства структур "кремний-на-изоляторе", изготовленных методом сращивания и водородного расслоения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>