На главную

Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>

Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>

32 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении