Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>
Приборы и методы пространственно-селективного травления диэлектрических и полупроводниковых оптических материалов направленным потоком внеэлектродной плазмы : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук : специальность 01.04.01 <Приборы и методы экспериментальной физики>