Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.15 <Метрология и метрологическое обеспечение>

Заглавие:Методы и средства интерферометрии высокого разрешения для обеспечения единства измерений геометрических параметров рельефа и шероховатости поверхности в нанометровом диапазоне : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.11.15 <Метрология и метрологическое обеспечение>

Физическое описание:35 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
• 100% от первой страницы документа

Копирование:

• Произвольный отрывок, составляющий 50% документа

Загрузка всего документа