Конструирование и технология производства полупроводниковых приборов миллиметрового диапазона и устройств на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборуд. для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники>
Конструирование и технология производства полупроводниковых приборов миллиметрового диапазона и устройств на их основе : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.06 <Технология и оборуд. для пр-ва полупроводников, материалов и приборов электрон. техники>