Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазмен. электроника>

Заглавие:Гнездовая откачка электровакуумных приборов с ионно-плазменной очисткой и герметизацией диффузионной сваркой : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. т. н. : специальность 05.27.02 <Вакуум. и плазмен. электроника>

Физическое описание:21,[1] с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа