Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 <Физика конденсированного состояния>

Заглавие:Импульсное осаждение полупроводниковых пленок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 01.04.07 <Физика конденсированного состояния>

Физическое описание:18 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа