На главную

Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистой литографии и защиты от коррозии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.09.10 <Электротехнология>

Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистой литографии и защиты от коррозии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.09.10 <Электротехнология>

17 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении