Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистой литографии и защиты от коррозии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.09.10 <Электротехнология>

Заглавие:Совершенствование и применение ионно-лучевой технологии субмикронной пассивации металлов для безрезистой литографии и защиты от коррозии : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : специальность 05.09.10 <Электротехнология>

Физическое описание:17 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа