Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.- м. наук : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

Заглавие:Оптическая эмиссионная спектроскопия силансодержащих потоков газа, активированных электронно-пучковой плазмой : автореферат диссертации на соискание ученой степени к. ф.- м. наук : специальность 01.04.14 <Теплофизика и теоретическая теплотехника>

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа