Моделирование многостадийного термического окисления кремния и образования фиксированного заряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Моделирование многостадийного термического окисления кремния и образования фиксированного заряда : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>