Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : специальность 02.00.21 <Химия твердого тела>
Гетерофазные процессы в пленочных сенсорных структурах на кремнии : автореф. дис. на соиск. учен. степ. д-ра хим. наук : специальность 02.00.21 <Химия твердого тела>