Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>
Методы контроля содержания паров воды в подкорпусном объеме интегральных схем : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.27.01 <Твердотел. электроника, радиоэлектрон. компоненты, микро- и наноэлектроника на квантовых эффектах>