Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.ф.-м.н. : специальность 05.13.18
Математическое моделирование технологических процессов на примере автоэпитаксии кремния : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.ф.-м.н. : специальность 05.13.18