Химическое осаждение пленок нитрида и карбонитрида бора из паров летучих соединений бора : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.х.н. : специальность 02.00.04

Заглавие:Химическое осаждение пленок нитрида и карбонитрида бора из паров летучих соединений бора : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.х.н. : специальность 02.00.04

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа