Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06
Разработка тонкопленочных сорбентов и микроэлектронных химических сенсоров на их основе для контроля содержания вредных и токсичных газов в атмосфере : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06