Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06

Заглавие:Разработка технологии производства кремниевых эпитаксиальных структур для силовых приборов : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.27.06

Физическое описание:29 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа