Исследование свойств наноструктурированного пористого кремния и применение его в технологии микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.ф.-м.н. : специальность 05.27.01
Исследование свойств наноструктурированного пористого кремния и применение его в технологии микроэлектроники : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.ф.-м.н. : специальность 05.27.01