Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.16.03

Заглавие:Разработка рециркуляционной технологии получения микрокристаллического карбида кремния химическим осаждением из газовой фазы : автореферат диссертации на соискание ученой степени к.т.н. : специальность 05.16.03

Физическое описание:22 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа