Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Эффекты низкоэнергетического ионного воздействия при эпитаксии Ge на Si : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>