Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>

Заглавие:Разработка технологии лазерного разделения приборных пластин на кристаллы : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа