Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами : автореферат диссертации на соискание ученой степени 05.27.01 : специальность 05.27.01

Заглавие:Исследование и разработка конструкций и технологии изготовления самосовмещенных комплементарных полевых транзисторных структур с субмикронными размерами : автореферат диссертации на соискание ученой степени 05.27.01 : специальность 05.27.01

Физическое описание:39 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа