Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>
Технологическое обеспечение показателей качества пластин-подложек ИМС на основе совершенствования доводочных операций : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. техн. наук : специальность 05.11.14 <Технология приборостроения>