Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.06
Выращивание плазменными методами пленок алмаза и родственных материалов (алмазоподобных, нитрида алюминия, оксида цинка) и применение многослойных структур на основе этих пленок в микро- и акустоэлектронике : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.06