Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01
Формирование локальных высокоомных пористых областей в кремнии и кремний-германии методом неоднородного химического травления : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.ф.-м.н. : Спец. 05.27.01