Оптимизация методов контроля основных параметров комплементарных МОП интегральных схем в процессе производства : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13
Оптимизация методов контроля основных параметров комплементарных МОП интегральных схем в процессе производства : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.11.13