Физико-химические и технологические основы получения полимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореферат диссертации на соискание ученой степени д.т.н. : специальность 05.27.01; специальность 05.27.06

Заглавие:Физико-химические и технологические основы получения полимидных структур для микроэлектронных устройств, устройств микромеханики и микросенсорики : автореферат диссертации на соискание ученой степени д.т.н. : специальность 05.27.01; специальность 05.27.06

Физическое описание:52 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа