Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.13.12

Заглавие:Разработка и исследование метода проектирования технологических процессов выращивания монокристаллов для изделий микроэлектроники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.13.12

Физическое описание:27 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа