Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01
Структуры кремний-на-изоляторе на основе окисленного пористого кремния для комплементарных металл-оксид-полупроводник интегральных схем : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.01