Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06
Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.27.06