Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.14.12 : Спец. 01.04.08

Заглавие:Воздействие импульсного пучка электронов на газо-фазные галогениды кремния и вольфрама : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.14.12 : Спец. 01.04.08

Физическое описание:19 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа