Методи та апаратура контролю структурно-геометричноï досконалостi напiвпровiдникових матерiалiв та структур в умовах ïх серiйного виробництва : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.06

Заглавие:Методи та апаратура контролю структурно-геометричноï досконалостi напiвпровiдникових матерiалiв та структур в умовах ïх серiйного виробництва : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.06

Физическое описание:34 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа