Физические основы роста и легирования пленок кремния в аморфном, нано-, микро-, поли- и монокристаллическом состояниях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10

Заглавие:Физические основы роста и легирования пленок кремния в аморфном, нано-, микро-, поли- и монокристаллическом состояниях : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.ф.-м.н. : Спец. 01.04.10

Физическое описание:34 с.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа