На главную

Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>

20 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении