Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>
Исследование структурных и электрофизических характеристик пленок на основе a-Si:H, полученных в плазме НЧ разряда : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.10 <Физика полупроводников>