Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.27.01
Формирование из газовой фазы диэлектрических и проводящих слоев, интегрированных в твердотельные структуры микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : спец. 05.27.01