На главную

Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>

Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>

20 с.

Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 25% документа
  • 100% от первой страницы документа

  • Произвольный отрывок, составляющий 50% документа

Обложка
Открыть в мобильном приложении