Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>
Моделирование источников плазмы для современных технологий микроэлектроники : автореф. дис. на соиск. учен. степ. канд. физ.-мат. наук : специальность 01.04.04 <Физ. электроника>