Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.01
Физико-технологические основы травления арсенида галлия в низкотемпературной химически активной плазме магнетронного разряда при производстве изделий электронной техники : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. д.т.н. : Спец. 05.27.01