Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.13

Заглавие:Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.13

Физическое описание:26 c.

Библиотечный фонд:Российская Национальная Библиотека

Полное библиографическое описание

Доступные права:

Просмотр:

• 100% от первой страницы документа

Печать:

• Произвольный отрывок, составляющий 25% документа