Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.13
Разработка и исследование агрегатов для проведения процесса газофазного осаждения эпитаксиальных слоев кремния на подложки большого диаметра : Автореф. дис. на соиск. учен. степ. к.т.н. : Спец. 05.02.13